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平成24年(行ケ)第10373号
半導体装置および液晶モジュール事件


弁理士 玉腰 紀子
弁理士 須山 佐一

○判決のポイント

引用発明と解決課題に相違があり,この点で作用効果上の違いがあるとして進歩性が認められた。

 事件番号等:平成24年(行ケ)第10373号 (知財高裁 H25.09.30 判決言渡)
 事件の種類:無効審決取消請求
 原告/被告:シャープ/住友金属鉱山
 キーワード:解決課題,技術的意義,予測できない効果,容易想到性
 関連条文:特許法第29条第2項

○事案の概要

本件発明1は,「絶縁性を有するベースフィルム,該ベースフィルム上に形成されたニッケル-クロム合金からなり厚みが7nm以上のバリア層,および該バリア層の上に形成された銅を含んだ導電物からなると共に表面にスズメッキが施された配線層を有する半導体キャリア用フィルムと,前記配線層に接続された突起電極を有する半導体素子とを備える半導体装置であって,
 前記バリア層と前記配線層とを所定パターンに形成した半導体素子接合用配線が複数あり,そのうちの少なくとも隣り合う二つの前記半導体素子接合用配線の間において,配線間距離及び出力により定まる電界強度が3×105~2.7×106V/mであり,前記半導体素子接合用配線の配線間距離が50μm以下となる箇所を有し,前記バリア層におけるクロム含有率を15~50重量%とすることにより,前記バリア層の溶出によるマイグレーションを抑制することを特徴とする半導体装置。」である。
 審決は,本件発明1と引用発明の相違点を,①本件発明1は,配線層の表面にスズメッキが施されるのに対して,引用発明は,…スズメッキが施されていない,②本件発明1は,半導体素子が配線層に接続された突起電極を有するのに対して,引用発明は,…突起電極を有するか否か不明,③本件発明1は,隣り合う二つの半導体素子接合用配線の間において,配線間距離及び出力により定まる電界強度が3×105~2.7×106V/mであるのに対して,引用発明は,隣り合う配線間の電界強度が不明,④本件発明1は,バリア層におけるクロム含有率を15~50重量%とすることにより,バリア層の溶出によるマイグレーションを抑制するものであるのに対して,引用発明は,Ni-Cr合金層におけるCr含有率は18重量%であるが,バリア層の溶出によるマイグレーションを抑制するものであるか否か不明,と認定した上で,「引用発明に基づいて,本件発明1の構成を採用することは容易であり,その構成を備えれば相違点④に係るマイグレーション抑制の効果は自ずから生じるのであるから,相違点④は実質的な相違点ではない。」として,本件発明は引用発明から容易想到であるとした。

○知財高裁の判断

 引用発明は,1種類のエッチング溶液で配線パターンを形成することができ,さらに,中間層としてクロム層を介在させた場合と同等の密着強度を有するプリント配線基板用の銅層(銅箔)を提供することを課題とし,その課題解決手段として,支持基板と銅層との中間層にクロム層の代わりにCrを一定割合含有するNi-Cr合金層を用いた発明である。また,甲2文献には,マイグレーションの発生の抑制に関する事項については,記載及び示唆はない。
 原出願日前に頒布された各刊行物の記載等について検討すると,原出願日当時,当業者において,半導体キャリア用フィルムにおいて,端子間の絶縁抵抗を維持するため,マイグレーションの発生を抑制する必要があると考えられていたこと,マイグレーションの発生を抑制するため,吸湿防止のための樹脂コーティングを行ったり,水に難溶な不動態皮膜を形成したり,半導体キャリア用フィルムを高温高湿下におかないようにしたりする方法が採られていたことは認められる。しかし,原出願日当時,本件発明のように,ニッケル-クロム合金からなるバリア層におけるクロム含有率を調整することにより,バリア層の表面抵抗率・体積抵抗率を向上させ,また,バリア層の表面電位を標準電位に近くすることによって,マイグレーションの発生を抑制することについて記載した刊行物,又はこれを示唆した刊行物は存在しない。そうすると,甲2文献に接した当業者は,原出願日当時の技術水準に基づき,引用発明において本件発明1に係る構成を採用することにより,バリア層の溶出によるマイグレーションの発生を抑制する効果を奏することは,予測し得なかったというべきである。

(玉腰 紀子)

○コメント

 知財高裁は,審決が認定した本件発明1と引用発明との相違点のうち,④のバリア層におけるクロム含有率を15~50重量%とする構成について,その技術的意義が原出願日当時公知でなかったことを理由に,甲2文献に接した当業者は,原出願日当時の技術水準に基づき,引用発明において本件発明1に係る構成を採用することにより相違点④に係る効果を奏すると予測し得たとは認められない,と判断している。
 裁判所は,本件発明の解決課題である「マイグレーションの発生を抑制する」ことが,発明特定事項とされていたことから,その想到容易性について,詳細に判断したようにも見える。
 なお,この判決は,有意な新規の技術的知見が得られた場合,外形的には従来技術と重なるところがあっても,予測し得ない顕著な効果を奏する発明として,進歩性が認められる場合があることを示している。

(須山 佐一)

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